ساخت مجموعه ای از ویفرهای شیشه ای به عنوان اجزای اپتو الکترونیک و نیمه هادی

شرکت SCHOTT موفق به ساخت ورقه ­های نازک شیشه ­ای به عنوان اجزای اپتوالکترونیک و نیمه هادی شده و اخیرا آن را در کنفرانس تکنولوژی ECTC در لاس وگاس ارائه کرده است. این مجموعه گسترده که شامل ویفرها و زیرلایه ­های شیشه ­ای است بدلیل خواص شیمیایی و ترمومکانیکی و کیفیت سطح بالا مورد توجه قرار گرفته است. این قطعات دارای ابعاد مختلفی از نظر قطر ویفرها (تا 12 اینچ)، ابعاد صفحه­ ها (تا 510×510) و ضخامت (از 1.1 میلی­متر تا 25 میکرومتر) می­ باشند.

دکتر Rudiger Sprengard، مدیر ساخت این شیشه ­های بسیار نازک ادعا می­کند که این شرکت با این تکنولوژی می­تواند بیش از پیش روندهای در حال ظهور در صنعت الکترونیک را پشتیبانی کند. این ویفرها و زیرلایه­ های شیشه ­ای بسیار نازک امکان ساخت هرچه نازک­تر قطعات الکترونیکی را فراهم کرده و به محاسبات با کارایی بالای مورد نیاز در برخی کاربردها مثل ماشین­ های خودکار کمک می­کند. این دسته از مواد به ­دلیل تطبیق ­پذیری و خواص ویژه، امکانات مهندسی و طراحی وسیع ­تری نسبت به قطعات الکتریکی سنتی در صنایع امروزی به­ وجو می­ آورند.

همچنین شرکت SCHOTT نمونه قابل ارتجاع پیشرفته ­ای از این مجموعه را گزارش کرده است که خواص همگن­ تر و کیفیت بی­ نظیری دارد. خواص گزارش شده این نمونه، ساخت قطعات RF و سیستم ­های MEMS با نسبت ابعاد بالا و اندازه ­های کوچک را ممکن می­سازد. این ویفرها در سه مرحله ساخته و پردازش می­شوند: قرار گرفتن در معرض تابش uv (با تجهیزات استاندارد لیتوگرافی)، تمپر کردن و اچ کردن. برای قطعات با مقاومت حرارتی بالاتر، مقداری کریستاله شدن اضافی هم انجام می­گیرد.

Sprengard معتقد است این ویفرهای شیشه ­ای بسیار نازک، امکان گنجاندن توان بیشتردر اشکال کوچکتر را برای مهندسین فراهم می­سازد. این مواد بدلیل خواص شیمیایی و استحکام خوبشان به ایجاد فرصت­ها و نوآوری­های جدید در بسیاری از صنایع کمک می­کنند. 

http://www.us.schott.com